產(chǎn)品分類
ALD設(shè)備
所屬分類：
產(chǎn)品展示
半導(dǎo)體芯片設(shè)備
立式爐管設(shè)備
ALD設(shè)備
概要：
?適用領(lǐng)域：集成電路、先進封裝 Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging ?適用材料：Si Suitable for Processing: Silicon (Si) ?晶圓尺寸：12/8 英寸 Wafer Size: 12/8 inch ?適用工藝：氮化硅(SiN)、二氧化硅(SiO2)等膜層的沉積 Silicon Nitride (SiN)、 Silicon Dioxide（SiO2）, and other film layers
關(guān)鍵詞：
臥式爐
ALD設(shè)備
產(chǎn)品應(yīng)用/Product Applications：
♦適用領(lǐng)域：集成電路、先進封裝
Relevant Industries: Integrated Circuits, Advanced Packaging
♦適用材料：Si
Suitable for Processing: Silicon (Si)
♦晶圓尺寸：12/8 英寸
Wafer Size: 12/8 inch
♦適用工藝：氮化硅(SiN)、二氧化硅(SiO2)等膜層的沉積
Silicon Nitride (SiN)、 Silicon Dioxide（SiO2）, and other film layers
技術(shù)指標(biāo)/Technical Indicators：
♦制程溫度范圍：100°C-350°C
Process Temperature Range：100°C-350°C
♦批次片數(shù)：50-100片
Batch Capacity：50-100 pcs
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LPCVD設(shè)備
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